特種氣體 specialily gas:用于各種電子產品生產的薄膜氣體、摻雜氣體、外延氣體、離子注入氣體、刻蝕氣體及工藝設備所使用的氣體。通常包括可燃性氣體、氧化性氣體、腐蝕性氣體、毒性氣體、惰性氣體等。目前,國內共有特種氣體生產企業達150余家,多數企業生產規模較小。跨國企業已經在國內投資設立了眾多合資或獨資的氣體公司,占國內銷售氣體產品市場份額的70%左右。特種氣體應用于國民經濟的很多行業, 它在電子行業、石油化工、醫1藥等各領域發揮著巨大的作用。我國特種氣體經過30余年的發展, 無論在氣體品種上,還是在數量上, 都以的速度發展, 生產的品種基本上滿足了市場的需求。
工業上,把常溫常壓下呈氣態的產品統稱為氣體產品.氣體產品種類繁多,大致可以分為一般工業氣體和特種氣體兩大類.一般工業氣體產銷量大,但對純度要求不高.特種氣體產銷量雖小,但根據不同的用途。特種氣體興起于60年代中期,作為基礎化工材料,主要運用于大型石油化工、半導體器件、光導纖維、激光、臨床診斷、水果催熟、食品保鮮等領域。隨著新產品技術的發展,其應用范圍也越來越廣泛。特種氣體是電子工業,特別是大規模集成電路制造不可缺少的材料氣體,該產業的發展應與集成電路產業發展同步或超前。特種氣體的純度朝高純的方向發展是特種氣體產業的一個必然方向,這就要求特種氣體的分離技術不斷進步以滿足純度的要求。
特種氣體在太陽能電池中的應用:晶體硅電池片生產中的擴散工藝用 到 POCl3 和 O2,減反射層 PECVD 工藝用到 SiH4、NH3,刻蝕工藝用到 CF4;特種氣體是工業氣體中的一個新興門類,是隨著近年來工業、科學研究、自動 化技術、精密檢測,特別是微電子技術的發展而發展起來的。滅菌特種氣體主要應用于(繃帶、縫線及手術器具)、包裝、紡織品、橡塑制品、化妝、糧食等產品及貯藏方面的殺菌。
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